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发明名称 FILM-FORMING METHOD
摘要
申请公布号 JPH10275807(A) 申请公布日期 1998.10.13
申请号 JP19970081261 申请日期 1997.03.31
申请人 KOBE STEEL LTD;ULVAC JAPAN LTD 发明人 FUJIKAWA TAKAO;SAKASHITA YOSHIHIKO
分类号 H01L21/28;H01L21/3205;H01L21/768;H01L23/52;(IPC1-7):H01L21/320 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
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