| 发明名称 |
METHOD FOR PLANARIZING SEMICONDUCTOR DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH10275808(A) |
申请公布日期 |
1998.10.13 |
| 申请号 |
JP19970262646 |
申请日期 |
1997.09.09 |
| 申请人 |
SPEEDFAM CO LTD;KAGAKU GIJUTSU SHINKO JIGYODAN;HORIIKE YASUHIRO |
发明人 |
YANAGISAWA MICHIHIKO;IIDA SHINYA;HORIIKE YASUHIRO |
| 分类号 |
C23F4/00;H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/316;H01L21/3205;(IPC1-7):H01L21/320;H01L21/306 |
主分类号 |
C23F4/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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