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发明名称
AXIS ALIGNING DEVICE FOR CHARGED PARTICLE
摘要
申请公布号
JPH10269975(A)
申请公布日期
1998.10.09
申请号
JP19970069457
申请日期
1997.03.24
申请人
SHIMADZU CORP
发明人
MITAMURA SHIGEHIRO
分类号
H01J37/04;H01J37/147;(IPC1-7):H01J37/04
主分类号
H01J37/04
代理机构
代理人
主权项
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