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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH10270545(A) 申请公布日期 1998.10.09
申请号 JP19970091638 申请日期 1997.03.26
申请人 VICTOR CO OF JAPAN LTD 发明人 IWASA TAKAYUKI
分类号 H01L21/316;H01L21/265;H01L21/76;H01L27/08;(IPC1-7):H01L21/76 主分类号 H01L21/316
代理机构 代理人
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