| 摘要 |
<P>Ce capteur inductif micro-usiné permet, sans contact et par l'intermédiaire d'un champ magnétique alternatif rayonné, de détecter la position et/ ou le mouvement d'un objet (O) susceptible de modifier ce champ magnétique et comprenant à cet effet au moins une discontinuité (D, C) . Le capteur comporte une bobine émettrice planaire (10) pour émettre le champ magnétique alternatif et des bobines réceptrices planaires (11 à 14) placées de manière à capter une part déterminée dudit champ et les variations de cette part magnétique captée dues à la discontinuité de l'objet (O) . Les bobines sont disposées sur un substrat commun et obtenues par des opérations de photolithographie sélective.Selon l'invention, dans les zones sur le substrat dans lesquelles la bobine réceptrice (10) est contiguë à une bobine réceptrice (11 à 14) , il est prévu au moins une plage de blindage galvaniquement indépendante des bobines (10 à 14) et connectée à un potentiel de référence. La plage de blindage (21) est formée par une couche de métallisation déposée sur le substrat.</P> |
