| 发明名称 |
PHOTOSENSITIVE MATERIAL SUCKING DEVICE |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPH10268524(A) |
申请公布日期 |
1998.10.09 |
| 申请号 |
JP19970078510 |
申请日期 |
1997.03.28 |
| 申请人 |
DAINIPPON SCREEN MFG CO LTD |
发明人 |
KAGEYAMA TSUYOSHI;YAMAMOTO TAKAHARU |
| 分类号 |
G03F7/20;(IPC1-7):G03F7/20 |
主分类号 |
G03F7/20 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
