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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH10270580(A) 申请公布日期 1998.10.09
申请号 JP19970068587 申请日期 1997.03.21
申请人 SONY CORP 发明人 EJIRI YOICHI
分类号 H01L21/28;H01L21/8222;H01L21/8248;H01L21/8249;H01L27/06;(IPC1-7):H01L21/824;H01L21/822 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
主权项
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