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发明名称
Chemisch-mechanische Planarisierung von flachen Rillen auf Halbleitersubstraten
摘要
申请公布号
DE69412945(D1)
申请公布日期
1998.10.08
申请号
DE19946012945
申请日期
1994.07.27
申请人
DIGITAL EQUIPMENT CORP., MAYNARD, MASS., US
发明人
NASR, ANDRE ILYAS, MARLBOROUGH, MASSACHUSETTS 01875, US;COOPERMAN, STEVEN SCOTT, SOUTHBOROUGH, MASSACHUSETTS 01772, US
分类号
H01L21/3105;H01L21/762;(IPC1-7):H01L21/306;H01L21/310
主分类号
H01L21/3105
代理机构
代理人
主权项
地址
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