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发明名称
SPANNUNGSDURCHBRUCHFESTE HALBLEITERBAUELEMENTE AUS EINKRISTALL-SILIZIUMKARBID UND VERFAHREN ZU DEREN HERSTELLUNG
摘要
申请公布号
DE69504495(D1)
申请公布日期
1998.10.08
申请号
DE1995604495
申请日期
1995.05.02
申请人
NORTH CAROLINA STATE UNIVERSITY, RALEIGH, N.C., US
发明人
BALIGA, BANTVAL, JAYANT, RALEIGH, NC 27613, US;ALOK, DEV, RALEIGH, NC 27606, US
分类号
H01L21/04;H01L21/265;H01L21/329;H01L29/06;H01L29/24;H01L29/47;H01L29/861;H01L29/872;(IPC1-7):H01L29/06;H01L21/18
主分类号
H01L21/04
代理机构
代理人
主权项
地址
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