웨이퍼의 파티클 검사기

摘要

본 고안은 웨이퍼의 상면 또는 뒷면에 발생된 파티클을 검사하는 웨이퍼의 파티클 검사기를 제공하는 것을 목적으로 한다. 본 고안은, 웨이퍼가 안치되는 광 집중 테이블; 상기 광 집중 테이블의 측단에 구비되는 웨이퍼 스케닝 수단; 상기 스케닝된 웨이퍼 상태를 표시하는 디스플레이 수단을 포함하는 것을 특징으로 한다.