| 摘要 |
<p>본 고안은 반도체 웨이퍼 장착용 보트에 관한 것으로, 종래에는 하부받침대와 상부 플래이트 사이에 설치되어 있는 수개의 라다가 일체로 형성되어 있어서, 라다에 형성되어 있는 슬롯이 파손되면 보트 전체를 교체하여야 하므로 비용이 많이 소요되는 문제점이 있었다. 본 고안 반도체 웨이퍼 장착용 보트는 하부받침대와 상부 플래이트의 사이에 설치되어 있는 수개의 라다를 분해 또는 조립이 가능토록함으로서, 라다의 슬롯이 파손이 그 파손된 라다만 교체하게되어 종래와 같이 보트 전체를 교체하지 않아도 되므로 비용절감의 효과가 있다.</p> |
