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发明名称 Verfahren zum Herstellen kristalliner Schichten aus schwer flüchtigen Stoffen aus der Gasphase
摘要
申请公布号 CH443838(A) 申请公布日期 1967.09.15
申请号 CH19630007446 申请日期 1963.06.14
申请人 SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT 发明人 DR. NICKL,JULIUS,DIPL.-CHEM.;DR. SIRTL,ERHARD,DIPL.-CHEM.
分类号 C23C16/00;C23C16/455;C30B25/08;(IPC1-7):C23C11/00 主分类号 C23C16/00
代理机构 代理人
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