| 发明名称 |
CONVEYANCE DEVICE FOR SUBSTRATE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH10265018(A) |
申请公布日期 |
1998.10.06 |
| 申请号 |
JP19970088635 |
申请日期 |
1997.03.25 |
| 申请人 |
HITACHI ELECTRON ENG CO LTD |
发明人 |
WADA NORIYA;MORITA YOSHIO |
| 分类号 |
B65G21/20;B65G13/071;B65G13/12;B65G39/18;(IPC1-7):B65G13/12 |
主分类号 |
B65G21/20 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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