发明名称 Dépôt d'une couche de carbone d'une très faible épaisseur
摘要
申请公布号 FR90287(E) 申请公布日期 1967.11.18
申请号 FR19660068417 申请日期 1966.07.06
申请人 SOCIETE LE CARBONE-LORRAINE 发明人
分类号 B01D71/02;C01B31/00;C01B31/08;C04B41/50;C30B1/02;H01J29/28 主分类号 B01D71/02
代理机构 代理人
主权项
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