发明名称 |
Dépôt d'une couche de carbone d'une très faible épaisseur |
摘要 |
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申请公布号 |
FR90287(E) |
申请公布日期 |
1967.11.18 |
申请号 |
FR19660068417 |
申请日期 |
1966.07.06 |
申请人 |
SOCIETE LE CARBONE-LORRAINE |
发明人 |
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分类号 |
B01D71/02;C01B31/00;C01B31/08;C04B41/50;C30B1/02;H01J29/28 |
主分类号 |
B01D71/02 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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