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发明名称 Blanket-selective deposition of cvd aluminum and reflectivity improvement using a self-aligning ultra-thin layer
摘要
申请公布号 EP0794568(A3) 申请公布日期 1998.09.30
申请号 EP19970103489 申请日期 1997.03.04
申请人 APPLIED MATERIALS, INC. 发明人 GUO, TED TIE;CHEN, LIANG-YUH;CHEN, FUSEN;MOSELY, RODERICK CRAIG
分类号 H01L21/28;C23C14/56;C23C16/54;H01L21/02;H01L21/203;H01L21/285;H01L21/3205;H01L21/677;H01L21/768;(IPC1-7):H01L21/768 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
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