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发明名称 CANTILEVER TYPE PROBE AND SCANNING TYPE PROBE MICROSCOPE EQUIPPED WITH THE SAME PROBE
摘要
申请公布号 JPH10260360(A) 申请公布日期 1998.09.29
申请号 JP19970084366 申请日期 1997.03.18
申请人 CANON INC 发明人 YAGI TAKAYUKI
分类号 G01B7/34;G01B7/00;G01B21/30;G01N37/00;G01Q20/04;G01Q60/26;G01Q60/38;G02B21/00;(IPC1-7):G02B21/00 主分类号 G01B7/34
代理机构 代理人
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