发明名称 |
CLEAN ROOM FOR PRODUCING SEMICONDUCTOR DEVICE |
摘要 |
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申请公布号 |
JPH10259938(A) |
申请公布日期 |
1998.09.29 |
申请号 |
JP19970065667 |
申请日期 |
1997.03.19 |
申请人 |
MIYAZAKI OKI ELECTRIC CO LTD;OKI ELECTRIC IND CO LTD |
发明人 |
INOUE HIROHITO |
分类号 |
F24F7/06;H01L21/02;(IPC1-7):F24F7/06 |
主分类号 |
F24F7/06 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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