发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH10256261(A) 申请公布日期 1998.09.25
申请号 JP19970057732 申请日期 1997.03.12
申请人 NEC CORP 发明人 HASHIMOTO RYUSUKE
分类号 H01L21/265;H01L21/02;H01L21/322;H01L21/331;H01L21/74;H01L27/12;(IPC1-7):H01L21/322 主分类号 H01L21/265
代理机构 代理人
主权项
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