반도체 소자의 열처리 장치

摘要

본 고안은 급속 열처리 공정시 실리콘 기판 내의 열팽창 정도 차이로 인한 스트레스의 발생과 균열을 방지하기 위해 급속 가열 장치에 완충 챔버를 부착하여 실리콘 기판 내의 결함들을 줄이기 위한 반도체 소자의 열처리 장치에 관한 것이다.