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经营范围
发明名称
MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号
JPH10256214(A)
申请公布日期
1998.09.25
申请号
JP19970062865
申请日期
1997.03.17
申请人
TOSHIBA CORP
发明人
MATSUI YOSHITAKA;MASE KOICHI
分类号
H01L21/304;(IPC1-7):H01L21/304
主分类号
H01L21/304
代理机构
代理人
主权项
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