| 发明名称 |
Method for depositing a plasma deposited polymer |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
IL112826(A) |
申请公布日期 |
1998.09.24 |
| 申请号 |
IL19950112826 |
申请日期 |
1995.02.28 |
| 申请人 |
CHIP EXPRESS (ISRAEL) LTD. |
发明人 |
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| 分类号 |
H01L21/302;H01L21/203;H01L21/311;H01L21/312;H01L21/768;H01L23/522;(IPC1-7):H01L21/306 |
主分类号 |
H01L21/302 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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