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发明名称
摘要
申请公布号	JP2804102(B2)	申请公布日期	1998.09.24
申请号	JP19890206802	申请日期	1989.08.11
申请人		发明人
分类号	C01B13/14;C01G1/00;C01G3/00;C23C14/08;C23C14/48;C30B23/08;C30B29/22;C30B29/68;H01B12/00;H01B12/06;H01B13/00;H01L39/02;H01L39/22;H01L39/24;(IPC1-7):C30B29/68	主分类号	C01B13/14
代理机构		代理人
主权项
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