发明名称 Ätzvorrichtung
摘要
申请公布号 DE19810810(A1) 申请公布日期 1998.09.24
申请号 DE19981010810 申请日期 1998.03.12
申请人 LG ELECTRONICS INC., SEOUL/SOUL, KR 发明人 SHIN, WOO-SUP, KUMI, KYONGSANGBUK, KR;JEONG, GYU-JAE, TAEGU, KR
分类号 G02F1/1333;C03C15/00;C23F1/08;(IPC1-7):C23F1/08 主分类号 G02F1/1333
代理机构 代理人
主权项
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