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发明名称 Siliziumplättchen mit hervorragendem Gettervermögen und Verfahren zu dessen Herstellung
摘要
申请公布号 DE3910185(C2) 申请公布日期 1998.09.24
申请号 DE19893910185 申请日期 1989.03.29
申请人 NIPPON STEEL CORP., TOKIO/TOKYO, JP;NSC ELECTRON CORP., TOKIO/TOKYO, JP 发明人 TACHIMORI, MASAHARU, HIKARI, YAMAGUCHI, JP;ARAKI, HIDEO, HIKARI, YAMAGUCHI, JP;ISHIZAKA, KAZUNORI, HIKARI, YAMAGUCHI, JP
分类号 H01L21/322;(IPC1-7):H01L21/22 主分类号 H01L21/322
代理机构 代理人
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