发明名称 Method of producing metallic microstructures
摘要
申请公布号 GB9816240(D0) 申请公布日期 1998.09.23
申请号 GB19980016240 申请日期 1998.07.24
申请人 ROBERT BOSCH GMBH 发明人
分类号 H01L21/302;B81B3/00;C23F4/00;C25D1/00;C25D1/08;C25D1/10;H01L21/283;H01L21/3065;H01L21/768 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
主权项
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