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发明名称 Magnetisches Ablenksystem für einen Hochleistungs-Elektronenstrahl
摘要
申请公布号 DE4208484(C2) 申请公布日期 1998.09.17
申请号 DE19924208484 申请日期 1992.03.14
申请人 ALD VACUUM TECHNOLOGIES GMBH, 63526 ERLENSEE, DE 发明人 BLUM, MATTHIAS, DR., 69434 HIRSCHHORN, DE;HEIMERL, JOSEF, 63589 LINSENGERICHT, DE;BAEHR, MARTIN, DR., 61130 NIDDERAU, DE;BAUER, VOLKER, 63543 NEUBERG, DE
分类号 H01J37/147;H01J37/305;(IPC1-7):H01J37/147;H01J37/302 主分类号 H01J37/147
代理机构 代理人
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