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发明名称 Chemisch amplifizierte Resistzusammensetzung
摘要
申请公布号 DE69320241(D1) 申请公布日期 1998.09.17
申请号 DE1993620241 申请日期 1993.05.05
申请人 KYOWA HAKKO KOGYO CO., LTD., TOKIO/TOKYO, JP 发明人 YAMAOKA, TSUGUO, CHIBA-KEN, JP;KOSEKI, KENICHI, CHIBA-SHI, CHIBA-KEN, JP;OBARA, MITSUHARU, YOKOHAMA-SHI, KANAGAWA-KEN, JP;SHIMIZU, IKUO, YOKKAICHI-SHI, MIE-KEN, JP;ITO, YUKIYOSHI, SETAGAYA-KU, TOKYO-TO, JP
分类号 C08F2/50;G03F7/004;G03F7/031;G03F7/038;G03F7/039;(IPC1-7):G03F7/004 主分类号 C08F2/50
代理机构 代理人
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