반도체 웨이퍼 세정장치

摘要

본 고안은 반도체 웨이퍼 세정장치에 관한 것으로, 종래에는 화학약품으로 수작업으로 공급하여 안전사고의 위험이 있는 문제점이 있었다. 본 고안 반도체 웨이퍼 세정장치는 순환라인 상에 약품공급수단을 설치하여, 스트립공정 진행시 기계적인 방법으로 약품을 내조에 공급함으로서, 종래와 같이 수작업으로 작업하는 것이 배제되어 안전사고가 예방되는 효과가 있다.