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发明名称 SUBSTRATE-TREATING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH10247633(A) 申请公布日期 1998.09.14
申请号 JP19970048948 申请日期 1997.03.04
申请人 TOSHIBA CORP 发明人 NISHIGAKI HISASHI
分类号 H01L21/304;(IPC1-7):H01L21/304 主分类号 H01L21/304
代理机构 代理人
主权项
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