吸水海绵拆卸装置

摘要

一种吸水海绵拆卸装置，用在晶片表面液态材料涂布之设备中，该装置包括，一凹槽卡榫，其系装置在一凹槽圆杯，可以拆卸更换；一吸水海绵，为波浪状，其系贴附在凹槽卡榫的内缘，具有缓冲及吸收功能，并用以改变溶剂反射方向及抵消溶剂反射之能量。

主权项

1.一种吸水海绵拆卸装置,用在晶片表面液态材料涂布之设备中,该装置包括:一凹槽卡榫,其系装置在一凹槽圆杯外缘,可以拆卸更换;一吸水海绵,其系贴附凹槽卡榫的内缘,具有缓冲及吸收功能。2.如申请专利范围第1项所述之装置,其中该凹槽卡榫近似圆弧状。3.如申请专利范围第2项所述之装置,其中该凹槽卡榫之弧长大约是凹槽圆杯周长的四分之一。4.如申请专利范围第1项所述之装置,其中该吸水绵内缘为波浪状。5.如申请专利范围第1项所述之装置,其中该吸水海绵长度与该凹槽卡榫之长度大约相等。图式简单说明:第一图绘示的是一种习知边缘珠滴刷洗之凹槽圆杯装置示意图;第二图绘示的是应用本创作之一较佳实施例,一种消除边缘珠滴刷洗反溅之吸水海绵拆卸装置之示意图;第三图绘示的是本创作吸水海绵凹槽卡榫的示意图;第四图绘示的是本创作吸水海绵凹槽卡榫装置上视示意图。