| 发明名称 |
DIELECTRIC ELEMENT, MANUFACTURING METHOD THEREOF, SEMICONDUCTOR MEMORY AND MANUFACTURING METHOD THEREOF |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPH10242308(A) |
申请公布日期 |
1998.09.11 |
| 申请号 |
JP19970044085 |
申请日期 |
1997.02.27 |
| 申请人 |
SANYO ELECTRIC CO LTD |
发明人 |
GOTO TAKASHI;FURUKAWA HIROAKI;KANEDA KAZUHIRO;INOUE SATOSHI;HARADA MITSUAKI;OGASAWARA SATORU |
| 分类号 |
H01L21/8247;H01L21/8246;H01L27/10;H01L27/105;H01L29/788;H01L29/792;(IPC1-7):H01L21/824 |
主分类号 |
H01L21/8247 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
