发明名称 |
INSULATING FILM AND SEMICONDUCTOR DEVICE |
摘要 |
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申请公布号 |
JPH10242136(A) |
申请公布日期 |
1998.09.11 |
申请号 |
JP19970057155 |
申请日期 |
1997.02.26 |
申请人 |
JSR CORP |
发明人 |
KUROSAWA TAKAHIKO;YAMADA KINJI;SHINODA TOMOTAKA;MATSUBARA MINORU;INOUE YASUTAKE;GOTO KOHEI |
分类号 |
C08L79/08;C08L83/04;H01B3/46;H01L21/31;H01L21/312;H01L21/768;H01L23/522;(IPC1-7):H01L21/312 |
主分类号 |
C08L79/08 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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