发明名称 INSULATING FILM AND SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH10242136(A) 申请公布日期 1998.09.11
申请号 JP19970057155 申请日期 1997.02.26
申请人 JSR CORP 发明人 KUROSAWA TAKAHIKO;YAMADA KINJI;SHINODA TOMOTAKA;MATSUBARA MINORU;INOUE YASUTAKE;GOTO KOHEI
分类号 C08L79/08;C08L83/04;H01B3/46;H01L21/31;H01L21/312;H01L21/768;H01L23/522;(IPC1-7):H01L21/312 主分类号 C08L79/08
代理机构 代理人
主权项
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