发明名称 POLYCRYSTALLINE SILICON THIN FILM TRANSISTOR
摘要
申请公布号 JPH10242052(A) 申请公布日期 1998.09.11
申请号 JP19970048229 申请日期 1997.03.03
申请人 SANYO ELECTRIC CO LTD;SONY CORP 发明人 WAKITA MASARU;OGATA HIDEKANE
分类号 H01L21/20;H01L21/336;H01L29/786;(IPC1-7):H01L21/20 主分类号 H01L21/20
代理机构 代理人
主权项
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