发明名称 MEASURING APPARATUS FOR CHARACTERISTIC OF PRESSURE SENSOR
摘要
申请公布号 JPH10239201(A) 申请公布日期 1998.09.11
申请号 JP19970043601 申请日期 1997.02.27
申请人 MATSUSHITA ELECTRIC WORKS LTD 发明人 YAMAMOTO HARUHIKO
分类号 G01L27/00;G01L9/00;G01R29/22;H01L29/84;(IPC1-7):G01L27/00 主分类号 G01L27/00
代理机构 代理人
主权项
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