发明名称 Apparatus for handling heavy parts of Czochralski crystal pulling apparatus supported in a frame structure
摘要 <p>Bei einer Vorrichtung zum Handhaben schwerer Bauteile einer Kristallziehmaschine nach dem Czochralski-Verfahren weist ein um ein senkrechtes Bein eines Traggestells drehbar und höhenverstellbar angeordneter Tragbalken Halteklauen zur Aufnahme von Bauteilen oder Hilfseinrichtungen auf. Quer zum Tragbalken sind Profilschienen angebracht, auf denen ein Schlitten seitlich verfahren werden kann. Der Schlitten ist mit einer Aufnahme zum Greifen und Halten des Kristalls verbindbar. <IMAGE></p>
申请公布号 EP0863230(A1) 申请公布日期 1998.09.09
申请号 EP19980100962 申请日期 1998.01.21
申请人 BALZERS UND LEYBOLD DEUTSCHLAND HOLDING AG;LEYBOLD SYSTEMS GMBH 发明人 SCHULMANN, WINFRIED;WENSKE, UDO;KAISER, HELMUT, DR.;THIMM, FRANZ
分类号 C30B15/00;C30B15/30;C30B35/00;(IPC1-7):C30B15/00 主分类号 C30B15/00
代理机构 代理人
主权项
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