发明名称 Manufacturing method for a wiring structure of a semiconductor device
摘要
申请公布号 GB2290166(B) 申请公布日期 1998.09.09
申请号 GB19950011567 申请日期 1995.06.07
申请人 * SAMSUNG ELECTRONICS CO LIMITED 发明人 SANGIN * LEE;SUN-HO * HA
分类号 H01L21/28;H01L21/285;H01L21/768;H01L23/522;(IPC1-7):H01L21/321 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
主权项
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