外加磁场的丘克拉斯基晶体生长系统

摘要

一种外加磁场的丘克拉斯基晶体生长系统,具有至少一个容纳熔融的半导体材料的生长炉,在预定方向从熔融的半导体材料提拉晶体的提拉装置,和产生向熔融的半导体材料施加的磁场的磁场发生器。磁场发生器具有多个磁体单元,和把各磁体单元耦合在一起的耦合机构,以使生长炉位于所述磁体单元之间。

主权项

1.一种外加磁场的丘克拉斯基晶体生长系统，包括，至少一个容纳熔融的半导体材料的生长炉，在预定方向从熔融的半导体材料提拉晶体的提拉装置，和产生向熔融的半导体材料施加的磁场的磁场发生器，其中，所述磁场发生器包括多个磁体单元，和把所述各磁体单元耦合在一起的耦合机构，以使所述至少一个生长炉位于磁体单元之间。