发明名称 SURFACE TREATMENT METHOD AND DEVICE THEREFOR
摘要
申请公布号 EP0861338(A1) 申请公布日期 1998.09.02
申请号 EP19960934312 申请日期 1996.11.12
申请人 IST INSTANT SURFACE TECHNOLOGY S.A. 发明人 KOULIK, PAVEL;ZORINA, EVGENIA
分类号 C23C8/10;C23C8/36;C23C16/452;H01L21/3065;(IPC1-7):C23C16/44;A61L2/14;C23F4/00;H01L21/00 主分类号 C23C8/10
代理机构 代理人
主权项
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