发明名称 RESIST DEVELOPER
摘要
申请公布号 JPH10232499(A) 申请公布日期 1998.09.02
申请号 JP19970036305 申请日期 1997.02.20
申请人 SONY CORP 发明人 TO YOICHI
分类号 G03F7/039;G03F7/32;H01L21/027;(IPC1-7):G03F7/32 主分类号 G03F7/039
代理机构 代理人
主权项
地址