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发明名称 COMPENSATION OF RESONANT INTEGRATED MICROBEAM SENSORS
摘要
申请公布号 EP0740781(B1) 申请公布日期 1998.09.02
申请号 EP19940927904 申请日期 1994.07.19
申请人 HONEYWELL INC. 发明人 BURNS, DAVID, W.;ZOOK, J., DAVID
分类号 G01L1/10;G01D3/028;G01D3/036;G01L1/18;G01L9/00;G01P1/00;G01P15/097;G01P15/10;G01P15/12;(IPC1-7):G01L1/18 主分类号 G01L1/10
代理机构 代理人
主权项
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