发明名称 Semiconductor device test system with operation loss reduced
摘要
申请公布号 GB9813878(D0) 申请公布日期 1998.08.26
申请号 GB19980013878 申请日期 1998.06.26
申请人 NEC CORPORATION 发明人
分类号 G01R31/26;G01R31/01;G01R31/28;H01L21/50;H01L21/66 主分类号 G01R31/26
代理机构 代理人
主权项
地址