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发明名称 BEAM DIVERTER UNIT FOR MULTIAXIAL INVESTIGATION IN A MICROSCOPE
摘要
申请公布号 EP0859968(A1) 申请公布日期 1998.08.26
申请号 EP19970934516 申请日期 1997.07.22
申请人 CARL ZEISS JENA GMBH 发明人 STELZER, ERNST, H., K.;LINDEK, STEFFEN
分类号 G02B21/00;G02B21/06;G02B21/18;(IPC1-7):G02B21/00 主分类号 G02B21/00
代理机构 代理人
主权项
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