| 发明名称 |
METHOD AND EQUIPMENT FOR CONTROLLING ENERGY OF ION MADE INCIDENT ON SUBSTRATE AT DRY ETCHING |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH10226893(A) |
申请公布日期 |
1998.08.25 |
| 申请号 |
JP19970030669 |
申请日期 |
1997.02.14 |
| 申请人 |
ULVAC JAPAN LTD;ADTEC:KK |
发明人 |
HAYASHI TOSHIO;FUJII SHUITSU |
| 分类号 |
H05H1/46;C23F4/00;H01L21/302;H01L21/3065;(IPC1-7):C23F4/00;H01L21/306 |
主分类号 |
H05H1/46 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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