| 发明名称 |
THIN FILM SEMICONDUCTOR DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH10223911(A) |
申请公布日期 |
1998.08.21 |
| 申请号 |
JP19980065890 |
申请日期 |
1998.03.16 |
| 申请人 |
SEIKO EPSON CORP |
发明人 |
MIYASAKA MITSUTOSHI;TAMASU RITORU |
| 分类号 |
H01L21/205;H01L21/316;H01L21/324;H01L21/336;H01L29/786;(IPC1-7):H01L29/786 |
主分类号 |
H01L21/205 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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