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发明名称 VACUUM VAPOR DEPOSITION SYSTEM
摘要
申请公布号 JPH10219436(A) 申请公布日期 1998.08.18
申请号 JP19970038501 申请日期 1997.02.06
申请人 TOYO COMMUN EQUIP CO LTD 发明人 MATSUMURA FUMIO
分类号 C23C14/24;C23C14/30;(IPC1-7):C23C14/30 主分类号 C23C14/24
代理机构 代理人
主权项
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