| 发明名称 |
MEMBER FOR SEMICONDUCTOR MANUFACTURING PROCESS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH10219426(A) |
申请公布日期 |
1998.08.18 |
| 申请号 |
JP19970035513 |
申请日期 |
1997.02.04 |
| 申请人 |
EBARA CORP;TOCALO CO LTD |
发明人 |
MIYASAKA MATSUSUKE;NAKAHAMA SHUHEI;TAKAYAMA HIROKAZU;NIIMURA YOSHIHIRO;HARADA YOSHIO;TAKEUCHI JUNICHI;SUGIMOTO KATSUHISA |
| 分类号 |
C23C10/50;C23C10/28;C23C10/48;(IPC1-7):C23C10/50 |
主分类号 |
C23C10/50 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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