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发明名称
METHOD OF FORMING ELEMENTS ISOLATION FILM
摘要
申请公布号
KR0143577(B1)
申请公布日期
1998.08.17
申请号
KR19950006554
申请日期
1995.03.27
申请人
HYUNDAI ELECTRONICS IND. CO.,LTD
发明人
UM, KEUM-YONG
分类号
H01L21/76;(IPC1-7):H01L21/76
主分类号
H01L21/76
代理机构
代理人
主权项
地址
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