| 发明名称 |
A PLUNGE-UP STAGE USED IN LARGE SCALE CHIP OF SEMICONDUCTOR APPARATUS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
KR0145126(B1) |
申请公布日期 |
1998.08.17 |
| 申请号 |
KR19950007548 |
申请日期 |
1995.03.31 |
| 申请人 |
SAMSUNG ELECTRONICS CO.,LTD |
发明人 |
JANG, SUK-HONG;PARK, YUN |
| 分类号 |
H01L21/60;(IPC1-7):H01L21/60 |
主分类号 |
H01L21/60 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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