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发明名称 DETECTING METHOD OF MOBILE ION
摘要
申请公布号 KR0144253(B1) 申请公布日期 1998.08.17
申请号 KR19940022259 申请日期 1994.09.05
申请人 LG SEMICONDUCTOR CO.,LTD 发明人 LEE, HYUN-WOO
分类号 H01L21/66;(IPC1-7):H01L21/66 主分类号 H01L21/66
代理机构 代理人
主权项
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