| 发明名称 |
Organic chlorides showing a reduced effect upon the destruction of the ozone layer for use during silicon thermal oxidation and furnace tube cleaning |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
HK1002325(A1) |
申请公布日期 |
1998.08.14 |
| 申请号 |
HK19980101336 |
申请日期 |
1998.02.20 |
| 申请人 |
AIR PRODUCTS AND CHEMICALS INC. |
发明人 |
ANDRE LAGENDIJK;KENNETH HOCHBERG ARTHUR;ALLEN ROBERTS DAVID |
| 分类号 |
C01B7/01;C23C16/44;C23G5/028;H01L21/31;H01L21/316;(IPC1-7):H01L |
主分类号 |
C01B7/01 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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